臭氧是一種氧化性很強但又不穩定的氣體，作為殺生劑，臭氧的作用機理與其它氧化性殺生劑有許多相同之處，臭氧與蛋白質結合，破壞細胞呼吸所不可缺少的還原酶的活性。  

 臭氧化后檢驗細菌的細胞時發現，細胞已失去了維持生命的細胞質而被破壞。  和氯不同的是，用臭氧作殺生劑不會增加水中的氯離子濃度，冷卻水排放時不會污染環境或傷害水生物，因為臭氧會自行分解生成氧。  

  臭氧是干燥空氣經過臭氧發生器工作而生成的氣體，添加臭氧時，首先將它溶解在水中，然后把溶解有臭氧的水注入冷卻水中。  

  臭氧可以從不同的部位注入冷卻水系統。例如可以加入到冷去塔的集水池中，或加到冷卻水循環泵出口的一側。在較為簡單的冷卻水系統中，只需在一處加入臭氧就足夠了，對于復雜的，有多個支路的體系，則建議在幾個不同的部位加入臭氧，使臭氧在水中的分布較為均勻。  

  在制定臭氧應用工藝時，需要考慮的因素是：該冷卻水系統的工況、水量、補充水和循環水的水質，尤其是COD和PH值。  

  使用臭氧作為殺生劑后，原先存在于冷卻水系統中的生物沉積物和冷卻塔中的藻類也隨之消失，循環冷卻水變得清澈透明，異樣菌數也比以前大大減少，換熱效果明顯改善。 

臭氧作為冷卻水殺劑的優點是：

① 臭氧是制備過程不會引起環境的污染；

② 臭氧Z后分解生成氧，故不像其他的殺生劑，它不會增加冷卻水中的含鹽量；

③ 它不會增加冷卻水的COD；

④ 通入臭氧不會像通氯時那樣在水中生成有機氯化物；

⑤ 作殺生劑使用時，不需要另外再加入分散劑或表面活性劑；

⑥ 從長遠看，它是一種很有希望的氯殺生劑的換代殺生劑。